股票配资哪家好便可实现晶圆位置的纠偏与晶圆方向的调整

金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，青岛思锐智能科技股份有限公司申请一项名为“一种晶圆镀膜装置及ALD设备”的专利，公开号CN120210778A，申请日期为2025年04月。

专利摘要显示，本发明提供一种晶圆镀膜装置及ALD设备，涉及半导体制造领域。在本发明中，由于镀膜模块在带动晶圆旋转的过程中会形成磁场，校准模块便可基于测量模块测量磁场获得的多个第一磁场强度测量值调整晶圆在镀膜模块的晶圆承载面上的晶圆位置，以及调整晶圆的缺口朝向，进而通过镀膜模块在晶圆位置调整至晶圆承载面的中心位置且缺口朝向调整至预设朝向时，对晶圆进行ALD镀膜。由此可见，无需在晶圆传输过程中额外增加包含视觉传感器的校准模块，便可实现晶圆位置的纠偏与晶圆方向的调整，简化了晶圆传输的流程，提高了晶圆传输的效率。

天眼查资料显示，青岛思锐智能科技股份有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本112128.6051万人民币。通过天眼查大数据分析，青岛思锐智能科技股份有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目68次，财产线索方面有商标信息24条，专利信息108条，此外企业还拥有行政许可24个。

本文源自：金融界

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